Система керування скануванням пучка для протонної променевої литографії. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 28, Вересень 2021 [цит. за 24, Жовтень 2026];(3):134-40. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/17768