[1]
«Вплив параметрів радіочастотного магнетронного розпилення на структуру та характеристики тонких плівок Al та Al2O3», East Eur. J. Phys., вип. 3, с. 505–511, Вер 2025, doi: 10.26565/2312-4334-2025-3-56.