Стехіометрична еволюція багатофазних нітридів вольфраму за змінного потоку газу та впливу додаткової плазми під час магнетронного розпилення. (2026). Східно-європейський фізичний журнал, 3, 681-688. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2026-3-64