Вакуумно-дугові багатошарові покриття (TiZrSiY)N/NbN: будова та властивості залежно від тривалості осадження шарів, що чергуються. (2023). Східно-європейський фізичний журнал, 4, 347-354. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2023-4-45