Кореляція між параметрами осадження та структурою і властивостями нанорозмірних багатошарових покриттів (TiSi)N/CrN. (2022). Східно-європейський фізичний журнал, 2, 112-117. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2022-2-14