Структурні, морфологічні та оптичні властивості тонких плівок ZnO, вирощених на підкладках Si за допомогою ультразвукового розпилювального піролізу. East Eur. J. Phys. 2026;(2):476-481. doi:10.26565/2312-4334-2026-2-53