Вакуумно-дугові багатошарові покриття (TiZrSiY)N/NbN: будова та властивості залежно від тривалості осадження шарів, що чергуються. East Eur. J. Phys. 2023;(4):347-354. doi:10.26565/2312-4334-2023-4-45