Вплив умов формування, відпалу та іонного опромінення на властивості наноструктурних покриттів на основі аморфного вуглецю з добавками золота, срібла та азоту. East Eur. J. Phys. 2021;(3):124-133. doi:10.26565/2312-4334-2021-3-19