Вплив температури підкладки на морфологію та кристалічність тонких плівок TiO₂, вирощених методом ALD з використанням TTIP та H₂O. East Eur. J. Phys. 2025, вип. 4, 449-453. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2025-4-45.