Вплив умов осадження на мікроструктуру та склад моношарових нітридних та карбідно-нітридних мультишарових покриттів на основі W та Nb. East Eur. J. Phys. 2025, вип. 2, 297-312. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2025-2-37.