[1]
2026. Стехіометрична еволюція багатофазних нітридів вольфраму за змінного потоку газу та впливу додаткової плазми під час магнетронного розпилення. Східно-європейський фізичний журнал. 3 (Вер 2026), 681–688. DOI:https://doi.org/10.26565/2312-4334-2026-3-64.