[1]
2025. Вплив температури підкладки на морфологію та кристалічність тонких плівок TiO₂, вирощених методом ALD з використанням TTIP та H₂O. Східно-європейський фізичний журнал. 4 (Груд 2025), 449–453. DOI:https://doi.org/10.26565/2312-4334-2025-4-45.