[1]
2025. Вплив параметрів радіочастотного магнетронного розпилення на структуру та характеристики тонких плівок Al та Al2O3. Східно-європейський фізичний журнал. 3 (Вер 2025), 505–511. DOI:https://doi.org/10.26565/2312-4334-2025-3-56.