[1]
2025. Структурні характеристики та оптичні властивості тонких плівок SiC, отриманих методом RF-PVD. Східно-європейський фізичний журнал. 2 (Чер 2025), 330–334. DOI:https://doi.org/10.26565/2312-4334-2025-2-41.