[1]
2025. Вплив умов осадження на мікроструктуру та склад моношарових нітридних та карбідно-нітридних мультишарових покриттів на основі W та Nb. Східно-європейський фізичний журнал. 2 (Чер 2025), 297–312. DOI:https://doi.org/10.26565/2312-4334-2025-2-37.