[1]
2023. Вакуумно-дугові багатошарові покриття (TiZrSiY)N/NbN: будова та властивості залежно від тривалості осадження шарів, що чергуються. Східно-європейський фізичний журнал. 4 (Груд 2023), 347–354. DOI:https://doi.org/10.26565/2312-4334-2023-4-45.