Перегляд Відбиття макрочастинки від зарядженої підкладки у плазмових системах іонної імплантації

Повернутися до подробиць випуску Відбиття макрочастинки від зарядженої підкладки у плазмових системах іонної імплантації Завантажити Завантажити PDF