[1]
Т. К. Турдалієв, Х. Х. Зохідов, Ш. Ч. Іскандаров, і У. Ф. Бердієв, «Вплив температури підкладки на морфологію та кристалічність тонких плівок TiO₂, вирощених методом ALD з використанням TTIP та H₂O», East Eur. J. Phys., вип. 4, с. 449-453, Груд 2025.