КукурудзякМикола C. 2023. «Проблеми маскуючого та просвітляючого SіO2 в кремнієвій технології». Східно-європейський фізичний журнал, вип. 2 (Червень), 289-95. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2023-2-33.