Дудін, С. В., Яковін, С. Д., & Зиков, О. В. (2023). Вплив плазмової активації реактивного газу при реактивному магнетронному розпиленні. Східно-європейський фізичний журнал, (3), 606-612. https://doi.org/10.26565/2312-4334-2023-3-72