Перегляд Дослідження імплантації іонів О+ у плівки SiO2(001) при малокутовому іонному бомбардуванні

Повернутися до інформації про статтю Дослідження імплантації іонів О+ у плівки SiO2(001) при малокутовому іонному бомбардуванні Завантажити Завантажити PDF