Перегляд Відбиття макрочастинки від зарядженої підкладки у плазмових системах іонної імплантації

Повернутися до інформації про статтю Відбиття макрочастинки від зарядженої підкладки у плазмових системах іонної імплантації Завантажити Завантажити PDF