Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ

  • І. П. Яремій Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
  • У. О. Томин Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
  • М. М. Уманців Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
  • В. І. Кравець Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
Ключові слова: профіль деформації, іонна імплантація, ґадоліній-ґалієвий ґранат, елементарна комірка

Анотація

Досліджено трансформацію кристалічної ґратки в іонно-імплантованих шарах монокристалів ґалій-ґадолінієвого ґранату. Встановлено, що у площині пластин монокристалів ҐҐҐ при імплантації іонами Не+ деформація кристалічної ґратки в імплантованому шарі відбувається тільки у перпендикулярному до площини пластин напрямку, а елементарна комірка понижує свою симетрію з кубічної до ромбоедричної.

 

 

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Біографії авторів

І. П. Яремій, Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
с.н.с.
У. О. Томин, Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
с.н.с.
М. М. Уманців, Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
с.н.с.
В. І. Кравець, Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
с.н.с.

Посилання

Kaladzedze L. Influence of Implantation on the Magneto-Optical Properties of Garnet Surface// Trans. Magn. – 2008. – Vol. 44, № 11. – P. 3293-3295.

Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. – Cambridge: Cambridge University Press, 1994. – 280 p.

Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация.– М.: Наука, 1983. – 320 с.

Ковальчук М.В., Кон В.Г., Лобанович Э.Ф. Измерение малых деформаций в тонких эпитаксиальных пленках кремния методом фотоэлектронной эмиссии, возбужденной стоячей рентгеновской//ФТТ. – 1985. – Т. 27, № 11. – C. 3379-3387.

Vartanyants I.A., Kovalchuk M.V. Theory and applications of x-ray standing waves in real crystals//Rep. Prog. Phys.– 2001. – Vol. 64. – P. 1009.

Nesterets Ya.I., Punegov V.I. The statistical kinematical theory of X-ray diffraction as applied to reciprocal space mapping//Acta Cryst. A. – 2000. – Vol. 56. – P. 540-548.

Kaganer V.M., Koller R., Schmidbauer M. et. al. X-ray diffraction peaks due to misfit dislocations in heteroepitaxial structures//Phys. Rev. B. – 1997. – Vol. 55, № 55. – P. 1793-1810.

Heinke H., Moller M., Hommel D. et. al. Relaxation and mosaicity profiles in epitaxial layers studied by high resolution X-ray diffraction//J. Cryst. Growth. – 1994. – Vol. 135, № 1-2. – P. 41-52.

Єфанов О.М., Кладько В.П., Мачулін В.Ф., Молодкін В.Б. Динамічна дифракція Х-променів у багатошарових структурах. – К.: Наукова думка, 2008. – 220 с.

Хапачев Ю.П., Чуховский Ф.Н. Деформации и напряжения в многослойных эпитаксиальных кристаллических структурах. Рентгенодифракционные методы их опредления// Кристаллография. – 1989. – Т. 34, № 3. – С. 776-800.

Рентгенодифракционная диагностика упругонапряженного состояния наногетероструктур/Под. ред. Б.С. Карамурзова, Ю.П. Хапачева. – Кабардино-Балкарский государственный университет. – Нальчик, 2008. – 205 с.

Fewster P.E. X-ray difraction from low-dimensional structures//Semicоnd. Sci. Technol. – 1993. – Vol. 8. – P. 1915-1934.
Кравець В.І., Пилипів В.М. Моделювання профілів деформації поверхневих шарів монокристалів//Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. Прикладна математика. – 2000. – № 411. – С. 192-196.

Яремій І.П., Кравець В.І., Пилипів В.М., Яремій С.І. Структурна діагностика приповерхневих шарів іонно-імплантованих монокристалів та плівок із структурою гранату//Вісник Прикарпатського університету. Математика. Фізика. – 2007. – Вип. ІІІ. – С. 59-65.
Опубліковано
2017-07-28
Як цитувати
Яремій, І. П., Томин, У. О., Уманців, М. М., & Кравець, В. І. (2017). Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(2), 237-242. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8779