Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ
Ключові слова:
профіль деформації, іонна імплантація, ґадоліній-ґалієвий ґранат, елементарна комірка
Анотація
Досліджено трансформацію кристалічної ґратки в іонно-імплантованих шарах монокристалів ґалій-ґадолінієвого ґранату. Встановлено, що у площині пластин монокристалів ҐҐҐ при імплантації іонами Не+ деформація кристалічної ґратки в імплантованому шарі відбувається тільки у перпендикулярному до площини пластин напрямку, а елементарна комірка понижує свою симетрію з кубічної до ромбоедричної.
Завантаження
##plugins.generic.usageStats.noStats##
Посилання
Kaladzedze L. Influence of Implantation on the Magneto-Optical Properties of Garnet Surface// Trans. Magn. – 2008. – Vol. 44, № 11. – P. 3293-3295.
Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. – Cambridge: Cambridge University Press, 1994. – 280 p.
Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация.– М.: Наука, 1983. – 320 с.
Ковальчук М.В., Кон В.Г., Лобанович Э.Ф. Измерение малых деформаций в тонких эпитаксиальных пленках кремния методом фотоэлектронной эмиссии, возбужденной стоячей рентгеновской//ФТТ. – 1985. – Т. 27, № 11. – C. 3379-3387.
Vartanyants I.A., Kovalchuk M.V. Theory and applications of x-ray standing waves in real crystals//Rep. Prog. Phys.– 2001. – Vol. 64. – P. 1009.
Nesterets Ya.I., Punegov V.I. The statistical kinematical theory of X-ray diffraction as applied to reciprocal space mapping//Acta Cryst. A. – 2000. – Vol. 56. – P. 540-548.
Kaganer V.M., Koller R., Schmidbauer M. et. al. X-ray diffraction peaks due to misfit dislocations in heteroepitaxial structures//Phys. Rev. B. – 1997. – Vol. 55, № 55. – P. 1793-1810.
Heinke H., Moller M., Hommel D. et. al. Relaxation and mosaicity profiles in epitaxial layers studied by high resolution X-ray diffraction//J. Cryst. Growth. – 1994. – Vol. 135, № 1-2. – P. 41-52.
Єфанов О.М., Кладько В.П., Мачулін В.Ф., Молодкін В.Б. Динамічна дифракція Х-променів у багатошарових структурах. – К.: Наукова думка, 2008. – 220 с.
Хапачев Ю.П., Чуховский Ф.Н. Деформации и напряжения в многослойных эпитаксиальных кристаллических структурах. Рентгенодифракционные методы их опредления// Кристаллография. – 1989. – Т. 34, № 3. – С. 776-800.
Рентгенодифракционная диагностика упругонапряженного состояния наногетероструктур/Под. ред. Б.С. Карамурзова, Ю.П. Хапачева. – Кабардино-Балкарский государственный университет. – Нальчик, 2008. – 205 с.
Fewster P.E. X-ray difraction from low-dimensional structures//Semicоnd. Sci. Technol. – 1993. – Vol. 8. – P. 1915-1934.
Кравець В.І., Пилипів В.М. Моделювання профілів деформації поверхневих шарів монокристалів//Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. Прикладна математика. – 2000. – № 411. – С. 192-196.
Яремій І.П., Кравець В.І., Пилипів В.М., Яремій С.І. Структурна діагностика приповерхневих шарів іонно-імплантованих монокристалів та плівок із структурою гранату//Вісник Прикарпатського університету. Математика. Фізика. – 2007. – Вип. ІІІ. – С. 59-65.
Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. – Cambridge: Cambridge University Press, 1994. – 280 p.
Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация.– М.: Наука, 1983. – 320 с.
Ковальчук М.В., Кон В.Г., Лобанович Э.Ф. Измерение малых деформаций в тонких эпитаксиальных пленках кремния методом фотоэлектронной эмиссии, возбужденной стоячей рентгеновской//ФТТ. – 1985. – Т. 27, № 11. – C. 3379-3387.
Vartanyants I.A., Kovalchuk M.V. Theory and applications of x-ray standing waves in real crystals//Rep. Prog. Phys.– 2001. – Vol. 64. – P. 1009.
Nesterets Ya.I., Punegov V.I. The statistical kinematical theory of X-ray diffraction as applied to reciprocal space mapping//Acta Cryst. A. – 2000. – Vol. 56. – P. 540-548.
Kaganer V.M., Koller R., Schmidbauer M. et. al. X-ray diffraction peaks due to misfit dislocations in heteroepitaxial structures//Phys. Rev. B. – 1997. – Vol. 55, № 55. – P. 1793-1810.
Heinke H., Moller M., Hommel D. et. al. Relaxation and mosaicity profiles in epitaxial layers studied by high resolution X-ray diffraction//J. Cryst. Growth. – 1994. – Vol. 135, № 1-2. – P. 41-52.
Єфанов О.М., Кладько В.П., Мачулін В.Ф., Молодкін В.Б. Динамічна дифракція Х-променів у багатошарових структурах. – К.: Наукова думка, 2008. – 220 с.
Хапачев Ю.П., Чуховский Ф.Н. Деформации и напряжения в многослойных эпитаксиальных кристаллических структурах. Рентгенодифракционные методы их опредления// Кристаллография. – 1989. – Т. 34, № 3. – С. 776-800.
Рентгенодифракционная диагностика упругонапряженного состояния наногетероструктур/Под. ред. Б.С. Карамурзова, Ю.П. Хапачева. – Кабардино-Балкарский государственный университет. – Нальчик, 2008. – 205 с.
Fewster P.E. X-ray difraction from low-dimensional structures//Semicоnd. Sci. Technol. – 1993. – Vol. 8. – P. 1915-1934.
Кравець В.І., Пилипів В.М. Моделювання профілів деформації поверхневих шарів монокристалів//Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. Прикладна математика. – 2000. – № 411. – С. 192-196.
Яремій І.П., Кравець В.І., Пилипів В.М., Яремій С.І. Структурна діагностика приповерхневих шарів іонно-імплантованих монокристалів та плівок із структурою гранату//Вісник Прикарпатського університету. Математика. Фізика. – 2007. – Вип. ІІІ. – С. 59-65.
Опубліковано
2017-07-28
Як цитувати
Яремій, І. П., Томин, У. О., Уманців, М. М., & Кравець, В. І. (2017). Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(2), 237-242. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8779
Розділ
Статті
У відповідності з типовим шаблоном.