Застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням, для формування надтвердих нанокомпозитних покриттів

  • В. М. Береснев Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина Научный физико-технологический центр
  • П. В. Турбин Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина Научный физико-технологический центр
  • В. В. Грудницкий Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
  • И. Н. Торяник Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
  • А. Е. Дмитренко Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
  • А. Ю. Кропотов Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина Научный физико-технологический центр
  • В. И. Гриценко Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
  • Л. В. Маликов Научный физико-технологический центр
  • С. С. Гранкин Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
Ключові слова: вакуумно-дуговий метод осадження, електронно-променеве плавлення, катод, нанокомпозитні покриття

Анотація

Викладені методи формування і результати застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням для формування надтвердих покриттів на основі Zr, Ti, Si і N та Ti, Hf, Si і N способом вакуумно-дугового осадження. Досліджено відповідність елементного складу синтезованих покриттів складу розпиленого катоду.

 

 

Завантаження

##plugins.generic.usageStats.noStats##

Біографії авторів

В. М. Береснев, Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина Научный физико-технологический центр
с.н.с.
П. В. Турбин, Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина Научный физико-технологический центр
с.н.с.
В. В. Грудницкий, Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
с.н.с.
И. Н. Торяник, Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
с.н.с.
А. Е. Дмитренко, Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
с.н.с.
А. Ю. Кропотов, Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина Научный физико-технологический центр
с.н.с.
В. И. Гриценко, Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
с.н.с.
Л. В. Маликов, Научный физико-технологический центр
с.н.с.
С. С. Гранкин, Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина
с.н.с.

Посилання

Патон Б., Тригуб Н., Козлитин Д. Электронно-лучевая плавка. – К.: Наукова думка, 1997. – 264 с.

Быковский Ю.А., Неволин В.Н. Лазерная масс-спектроскопия. – М.: Энергоатомиздат, 1985. – 128 с.

Ажажа В.М., Вьюгов П.Н., Лавриненко С.Д., Пилипенко Н.Н., Болков А.Ф., Лахов А.М., Линдт К.А., Мухачев А.Л., Попов В.И. Электронно-лучевая плавка титана, циркония и гафния//ВАНТ, Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. – 2002. – № 6 (82). – С. 95-99.

Погребняк А.Д., Шпак А.П., Береснев В.М., Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti-HfSi-N, полученных с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде//ПЖТФ. – 2011. – Т. 37, № 13. – С. 91-97.

Yushkov G., Anders A., Oks E.M., Brown I.G. Ion velocities in vacuum arc plasmas//J. of Appl. Phys. – 2000. – Vol. 88, No. 10. – P. 5618-5622.

Береснев В.М., Погребняк А.Д., Соболь О.В., Грудницкий В.В., Маликов Л.В. Получение методом вакуумно-дугового осаждения и исследование структурно-фазового состояния пленок (Ti-Hf-Si)N//Матер. 4-ой Междунар. науч. конф. “Физико-химические основы формирования и модификации микрои наноструктур, ФММН’2010”. (Харьков, Украина). – 2010. – С. 500-502.

Ho C.Y., Powel R.W., Liley P.E. Thermal Conductivity of the Elements//J. Phys. Chem. Ref. Data. – 1972. – Vol. 1, No. 2. – P. 279-421.
Опубліковано
2017-07-28
Як цитувати
Береснев, В. М., Турбин, П. В., Грудницкий, В. В., Торяник, И. Н., Дмитренко, А. Е., Кропотов, А. Ю., Гриценко, В. И., Маликов, Л. В., & Гранкин, С. С. (2017). Застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням, для формування надтвердих нанокомпозитних покриттів. Журнал фізики та інженерії поверхні, 11(2), 204 - 211. вилучено із https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8773

Найбільш популярні статті цього автора (авторів)